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精密定位系統(tǒng)/平移臺(tái)

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顯微鏡物鏡掃描臺(tái)
顯微鏡物鏡掃描臺(tái)：上海昊量推出的物鏡掃描臺(tái)采用壓電陶瓷直推，以柔性鉸鏈為導(dǎo)向使物鏡掃描臺(tái)具有結(jié)構(gòu)緊湊、體積小、無機(jī)械摩擦、定位分辨率高等優(yōu)點(diǎn)，采用硅位移傳感器，物鏡掃描臺(tái)相比于傳統(tǒng)的電容式位移傳感器，物鏡掃描臺(tái)硅傳感器使平移臺(tái)擁有更高的精度和線性度以及較低的底噪。物鏡掃描臺(tái)的精度可以達(dá)到亞納米，底噪低至10pm。

型號(hào)：廠商性質(zhì)：代理商
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納米平移臺(tái)（壓電馬達(dá)型，10-1500mm行程）
XLS系列線性位移平臺(tái)，是由超聲波壓電馬達(dá)驅(qū)動(dòng)，可提供不同行程的精確定位。由于采用超聲波壓電馬達(dá)驅(qū)動(dòng)，速度可達(dá)到200mm/s，并且該平臺(tái)非常適用于掃描，可提供恒定的掃描速度，速度不穩(wěn)定性低于2%。納米平移臺(tái)（壓電馬達(dá)型，10-1500mm行程）

型號(hào)：廠商性質(zhì)：代理商
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超小型平移臺(tái)（亞微米，15mm，已集成電路）
AU-M3-LS系列位移平臺(tái)，是一款集動(dòng)力系統(tǒng)、位置傳感器和控制器于一身的微型位移平臺(tái)。其中動(dòng)力系統(tǒng)采用目前很小的壓電SQL-RV-1.8壓降直線微電機(jī)（2.8 x 2.8 x 6 mm）和業(yè)界內(nèi)很小的壓電馬達(dá)NSD-2101驅(qū)動(dòng)IC（1.8 x 1.8 mm）。集成到定制模塊上可以提供之前難以想象的運(yùn)動(dòng)性能。超小型平移臺(tái)（亞微米，15mm，已集成電路）

型號(hào)：廠商性質(zhì)：代理商
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微型二維壓電馬達(dá)線性平移臺(tái)
上海昊量光電設(shè)備有限公司推出的二維平移臺(tái)主要是為在計(jì)量學(xué)中樣品的精確操控和顯微鏡等應(yīng)用而設(shè)計(jì)的。推出的二維平移臺(tái)主要分為以下兩種。1）. 緊湊型二維壓電馬達(dá)平移臺(tái)AUXY-XLS 2）.大推力二維壓電平移臺(tái)AUXY-XSS 微型二維壓電馬達(dá)線性平移臺(tái)

型號(hào)：廠商性質(zhì)：代理商
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