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品牌	其他品牌	產地類別	進口
應用領域	醫療衛生,生物產業,電子/電池,道路/軌道/船舶,航空航天

超小型平移臺（亞微米，15mm，已集成電路）

AU- M3-LS系列位移平臺，是一款集動力系統、位置傳感器和控制器于一身的微型位移平臺。其中動力系統采用目前很小的壓電SQL-RV-1.8壓降直線微電機（2.8 x 2.8 x 6 mm）和業界內很小的壓電馬達NSD-2101驅動IC（1.8 x 1.8 mm）。集成到定制模塊上可以提供之前難以想象的運動性能。該直線微電機馬達擁有較小的體積但可以提供更大的功率和穩定性。分辨率為0.5mm，精度是電磁馬達的十倍。該馬達沒有齒輪和凸輪，直接提供直線移動的動力，并采用自鎖設計，只有移動的時候才會耗電。因此比同等電磁馬達的功耗降低40%，超小型平移臺（亞微米，15mm，已集成電路）

在緊湊的體積設計中該平臺擁有完整的閉環反饋系統。采用NSE-5310位置傳感器，分辨率可達到0.5μm。該傳感器芯片上集成數字編碼器的磁傳感器陣列，將磁性正弦波轉換為數字直接輸出。芯片上編碼使用標準I2C協議提供直接數字輸出，無需外部脈沖計數器。高效的控制系統通信在單個I2C總線上允許兩個位置傳感器。另外該傳感器對外部環境不敏感，可適用于光照、沖擊、振動等條件。

為了使整個運動系統體積更緊湊，該平臺把控制器集成到了該平臺內。該模塊將PID控制器集成到電路板上，只需要通過標準的I2C 或者SPI接口輸入簡單的串行命令就可以驅動該控制器。可以通過USB連接電腦，直接通過軟件控制該微動臺的運動。操作簡單使用方便。

此外該微動臺多個可組合成多軸運動的微動臺。兩個可以組合成X-Y軸運動的平臺，三個可組合成X-Y-Z的多軸微動臺。

目前該產品有兩種不同類型的產品，行程分別為6mm和15mm。

		AU-M3-LS-1.8-6	AU-M3-LS-3.4-15
產品圖片
行程		6mm	15mm
尺寸		29 x 20 x 9.5 mm	32 x 32 x 11 mm
載重	水平使用	20g	200g
載重	垂直使用	10g	100g
分辨率		0.5μm	0.5μm
重復精度		< 5 μm	< 5 μm
精度		< 20μm	< 20μm
速度		> 4 mm/s	> 5 mm/s

u 產品主要特點
l 超小體積（29 x 20 x 10 mm）
l 無需外加控制器
l 大行程（15mm）
l 高分辨率（0.5μm）
l 堅固性優
l 高重復性
l 低功耗（工作時l 可組成多軸微動臺
l 可直接從USB適配運行

u 主要應用
手持和便攜設備、便攜式醫療設備、微型顯微鏡、光譜學、微器件裝配、生物醫學探測和抽樣、高分辨率調諧系統、無人機/地面車輛控制和光學、微型相機系統等。

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超小型平移臺（亞微米，15mm，已集成電路）

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