美國Filmetrics膜厚測量儀

使用 Filmetrics 膜厚測量儀產(chǎn)品，只需單擊鼠標(biāo)即可測量 1nm 至 10mm 的薄膜厚度。幾乎可以測量任何材料，直觀的設(shè)計(jì)意味著您可以在幾分鐘內(nèi)進(jìn)行一次薄膜厚度測量！

Filmetrics 膜厚測量儀通過分析光如何被薄膜反射來測量薄膜厚度。通過分析超出人眼可見波長的波長，F(xiàn)ilmetrics 膜厚測量儀可以測量幾乎所有厚度大于 100 個原子的非金屬薄膜。而且由于沒有移動部件，因此可以在幾秒鐘內(nèi)獲得結(jié)果：薄膜厚度、折射率，甚至粗糙度！

越來越多的公司依靠 Filmetrics 膜厚測量儀進(jìn)行經(jīng)濟(jì)實(shí)惠的薄膜厚度測量。手機(jī)、眼鏡、液晶顯示器和數(shù)百種其他產(chǎn)品的制造商都非常欣賞我們的設(shè)備易于使用、成本更低，并且提供無與的倫比的支持。事實(shí)上，我們的客戶每天都在向我們展示我們的薄膜厚度測量工具的新用途！

Filmetrics  膜厚測量儀-測量厚度從 1nm 到 10mm 的膜厚測量系統(tǒng)

Filmetrics 是通用的薄膜厚度測量儀器，在有數(shù)千種應(yīng)用。厚度和折光率可在不到一秒的時間內(nèi)測量。與我們所有的厚度測量儀器一樣，F(xiàn)20 可連接到 Windows™ 計(jì)算機(jī)的 USB 端口，并在幾分鐘內(nèi)完成設(shè)置。不同的 F20 儀器主要根據(jù)波長范圍進(jìn)行區(qū)分。標(biāo)準(zhǔn) F20 是 Filmetrics 非常受歡迎的產(chǎn)品。通常，較薄的薄膜需要較短的波長（例如 F20-UV），而較長的波長允許測量較厚、較粗糙和更不透明的薄膜。

膜厚測量儀（厚度范圍1nm~10mm）包括什么配件？

• 集成光譜儀/光源單元

• FILMeasure 5.0 軟件

• 具有多位置聚焦的 SS-3 樣品臺

• 光纜

• 參考資料

• 厚度標(biāo)準(zhǔn)

• 作手冊的硬拷貝

• 連接電纜

• FILMeasure 獨(dú)立軟件（用于遠(yuǎn)程數(shù)據(jù)分析）

• 備用燈

• 鑷子

膜厚測量儀（厚度范圍1nm~10mm）測試原理：

當(dāng)波長范圍的光照射到薄膜上時，從不同界面上反射的光相位不同，從而引起干涉導(dǎo)致強(qiáng)度相長或相消。而這種強(qiáng)度的振蕩是與薄膜的結(jié)構(gòu)相關(guān)的。通過對這種振蕩擬合和傅里葉變換就可獲得樣品厚度和相關(guān)的光學(xué)常數(shù)。

比如：

半導(dǎo)體（硅，單晶硅，多晶硅）

半導(dǎo)體化合物（AlGaAs, InGaAs，CdTe, CIGS）

微電子機(jī)械（MEMS）

氧化物/氮化物

光刻膠

硬涂層（碳化硅，類金剛石炭）

聚合物涂層（聚對二甲苯，聚甲基丙烯酸甲酯，聚酰胺）

高分子聚合物

Filmetrics 膜厚測量儀分類：

1、單點(diǎn)膜厚測量——F20
2、單點(diǎn)手持膜厚測量——F10-HC
3、聚焦光斑膜厚測量儀——F40
4、支持Mapping的聚焦膜厚測量儀——F50
5、在線膜厚測量儀——F30